硅片清洗设备，硅片全自动清洗机

硅片清洗设备，硅片全自动清洗机的重要性：
      半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。
硅片清洗设备，硅片全自动清洗机​的应用：
      集成电路，MEMS器件，微波器件，先进封装等工艺。去胶清洗设备，显影清洗设备，酸碱刻蚀机。也可用于零部件清洗，石英管道清洗，外延片清洗（砷化镓，氮化镓，碳化硅，铌酸锂等