EVG 320晶圆清洗系统-其他机械词

产品详情

产品简介：

EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。

主要特点及参数：

·可适用于12寸（300mm）晶圆

·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自动运行

·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒

·最多可以配置4个清洗腔室

·机器人处理确保预对准精度

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主营产品：: 表面处理仪 X射线衍射仪

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