EVG SmartView NT对准系统-其他机械词

产品详情

产品简介：

EVG SmartView NT是一款全自动量产型键合对准设备，适用于三维互连、晶圆级封装、高产量MEMS，可以作为模块集成在EVG560键合设备或者GEMINI平台。

主要特点及参数：

·支持12英寸（300mm）晶圆

·支持2层或3层晶圆堆叠对准

·支持：面对面对准、背面对准、红外对准和透明对准

·可升级至自动对准

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