EVG 520 HE热压印系统-其他机械词

产品详情

产品简介：

EVG 520 HE是一款基于EVG520设备的半自动热压印设备，适用于所有聚合物，可应用于高质量的纳米图形转移。相比EVG 510 HE可提供更大的压力。

主要特点及参数：

·支持8英寸（200mm）晶圆

·自动压印并具有气动脱模功能

·压力：100KN

·温度：350℃（可选配至550℃）

·真空度：0.1mbar（可选配至10^-5mbar）

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主营产品：: 表面处理仪 X射线衍射仪

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