PECVD设备

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一、产品特点：
1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1100℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时：热电偶都已做严格的测温校验，不合格品严禁出厂。
8.还可选配功能强大的触摸屏温度控制系统，利用触摸屏丰富的的图文显示，人机交互更加轻松，设备操作更加简便。
9.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠。
10.气体流量采用电子式质量流量控制器进行精确测量和控制。
11.真空泵为双击旋片式，可以长时间连续工作，并配有油气过滤器，可以很好的净化油气，防止污染。
12.炉管真空度实时在线检测。